Teflon-coated keramyske eineffektor - Anti-oanbakkend oerflak foar gefoelige waferbehanneling
De Teflon (PTFE) coated keramyske ein-effektor fan St.Cera kombinearret in heechsterkte aluminiumoxide-substraat mei in unifoarme, leechwriuwing PTFE-coating (dikte 15–30 μm). De coating soarget foar in ekstreem lege wriuwingskoëffisjint (≤0.1), poerbêste gemyske wjerstân en anti-oanbakeigenskippen, wêrtroch't waferadhesie foarkomt en fersmoarging oan 'e efterkant eliminearre wurdt. It ûnderlizzende keramyske substraat (99.8% Al₂O₃) biedt hege bûgingssterkte (361–1000 MPa), slijtvastheid en termyske stabiliteit oant 260°C (coatinglimyt). Dizze ein-effektor is ideaal foar it behanneljen fan delikate, tinne of kleverige wafers (bygelyks nei fotoresistcoating of gemyske prosessen).
Spesifikaasjes (basearre op 99,8% Al₂O₃ substraat mei PTFE-coating):
| Besit | Wearde |
| Substraatmateriaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoar) |
| Coatingmateriaal | PTFE (Teflon) |
| Laachdikte | 15–30 μm |
| Koëffisjint fan wriuwing (Coated) | ≤0.1 |
| Substraatbûgingssterkte (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substraathurdens (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substraatdichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Maks. wurktemperatuer (coatinglimyt) | 260°C |
| Oerflakrûchheid (foar it coaten) | Ra ≤0.4 μm |
| Diëlektryske sterkte (substraat) | 15×10⁶ V/m |
Opmerking: PTFE-coating beheint de maksimale temperatuer ta 260 °C; foar tapassingen by hegere temperatueren, beskôgje ûncoated keramyk of oare coatings.
Applikaasjes:
- · Hantearjen fan wafers nei fotoresistcoating (kleverige oerflakken)
- · Oerdracht fan tinne of kwetsbere wafers (foarkomt plakjen)
- · Hegeliederynspeksje- en metrology-ark
- · Skjinnekeamerautomatisearring wêrby't dieltsjefersmoarging minimalisearre wurde moat
Produksjeproses:
Keramysk substraat sintere en presyzje-slyp → oerflakrûch meitsjen (plasma-etsen of gritstralen) → PTFE-spuitcoating → waarmte-útharding by 380 °C → definitive ynspeksje. Elke ein-effektor wurdt kontrolearre op coatingdikte (wervelstroom), adhesion (dwarssnijtest ASTM D3359) en wriuwingskoëffisjint.
Kwaliteitskontrôle:
100% fisuele ynspeksje op gaatjes of bubbels; uniformiteit fan 'e coatingdikte binnen ±5 μm; gjin delaminaasje nei in 90° bûgtest op in tsjûgecoupon. Dimensjonele kontrôle neffens OEM-tolerânsje (lingte ±0,05 mm, flakheid ≤0,1 mm).
Foardielen boppe ûncoated of oare coatings:
- · Anti-oanbak oerflak foarkomt wafer oanhechting en brekking
- · Leechste wriuwingskoëffisjint ûnder keramyske coatings
- · Uitstekende gemyske wjerstân (soeren, basen, oplosmiddels)
- · Ferminderet dieltsjegeneraasje troch materiaaloerdracht te foarkommen
Beperkingen (opmerkings oer materiaalôfwiking):
De PTFE-coating is net ôflaat fan 'e oanlevere materiaaleigenskippentabellen (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). De substraateigenskippen folgje strikt it oanlevere datasheet (99,8% Al₂O₃). Coatingeigenskippen binne basearre op PTFE-spesifikaasjes yn 'e yndustrystandert, om't der gjin coatinggegevens binne levere. Foar tapassingen boppe 260 °C wurdt in ûncoated keramyske eineffektor oanrikkemandearre.*
Oanpassing:
Beskikber yn lingten 150–1500 mm, tipfoarmen (rânegreep, Bernoulli, flak), montageflenspatroanen neffens OEM-tekening. Partiële coating (allinich kontaktgebieten) of folsleine dekking opsjoneel.
Freegje in stekproef oan foar adhesion- en wriuwingstests.
