Oanpaste hege-suverens aluminiumoxide keramyske ring foar CVD / PVD-proseskeamers fabrikanten en leveransiers

Heech-suvere aluminiumoxide keramyske ring foar CVD / PVD-proseskeamers

Koarte beskriuwing:

De keramyske ring fan St.Cera is spesifyk ûntworpen foar gebrûk yn CVD (Chemical Vapor Deposition) en PVD (Physical Vapor Deposition) proseskeamers. Dizze ring, makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), tsjinnet as in keamerfoering, fokusring of proseskitkomponint om plasma te beheinen en keamerwanden te beskermjen tsjin eroazje. It materiaal biedt poerbêste plasmaresistinsje, hege diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m), en termyske stabiliteit oant 1600 °C, wat soarget foar in lange libbensdoer yn agressive fluor-basearre plasma-omjouwings. Krekte dimensjonele tolerânsjes (± 0,05 mm op ID/OD) en flakheid (≤ 10 μm) meitsje in konsekwinte waferrâneposysje mooglik, wêrtroch't de ôfsettingsuniformiteit ferbettere wurdt en dieltsjegeneraasje fermindere wurdt.

Stjoer e-post nei ús

Produktdetail

Produktlabels

Spesifikaasjes (basearre op 99,8% Al₂O₃):

Besit	Wearde
Materiaal	99,8% aluminiumoxide (ivoar)
Dichtheid	3,93 g/cm³
Wetteropname	0%
Bûgingssterkte	361 MPa
Breuktaaiheid	3–4 MPa·m¹/²
Vickers-hurdens	16 GPa
Young's Modulus	380 GPa
Termyske geliedingsfermogen	32 W/m·k
Termyske útwreiding (25–1000 °C)	7.2 × 10⁻⁶/℃
Diëlektryske sterkte	15×10⁶ V/m
Spesifike wjerstân	>10¹⁴ Ω·cm
Maksimale wurktemperatuer	1600°C

Applikaasjes:

· CVD-keamerfokusringen en râneringen
· PVD-keamerbeskermingsringen en klemringen
· Ets keamervoeringen en dekselringen
· Plasma-opslutingsringen yn diëlektryske etssystemen

Produksjeproses:

Isostatysk persen → griene ferwurking → sinterjen by 1600 °C → CNC ID/OD-slypjen → oerflakleppen → ultrasone reiniging → 100% CMM-ynspeksje. Ultraglêde oerflakteôfwerking (Ra ≤0,4 μm) minimalisearret dieltsjeadhesie.

Kwaliteitskontrôle:

· 100% dimensjonele kontrôle (ID, OD, dikte, flakheid)
· Ynspeksje fan kleurstofpenetrant op mikro-barsten yn it oerflak
· Diëlektryske sterktetest neffens ASTM D149
· Gjin sichtbere ferkleuring of porositeit ûnder in 20× mikroskoop

Foardielen boppe metalen of kwartsringen:

· 5–10 kear langere libbensdoer as aluminiumringen yn fluorplasma
· Gjin metaalfersmoarging yn tinne films
· Hegere plasmaresistinsje as kwarts (gjin eroazjeputten)
· Behâldt elektryske isolaasje >10¹⁴ Ω·cm sels nei lang gebrûk

Alternatyf materiaal - Silisiumnitride (Si₃N₄):

Foar tapassingen dy't in noch hegere brektaaiens (6,2 MPa·m¹/²) en bettere termyske skokbestindigens (útwreidingskoëffisjint 3,2 × 10⁻⁶/℃) fereaskje, binne Si₃N₄-ringen beskikber. Aluminiumoxide is lykwols kosteneffektiver foar de measte CVD/PVD-tapassingen. Jou asjebleaft oan hokker materiaal jo foarkar hawwe by it bestellen.

Oanpassing: