Alumina fakuümchuck foar presyzje snijden en slypjen
De alumina fakuümfutter fan St.Cera is makke fan 99,8% heechsuvere Al₂O₃ mei presyzje-bearbeitte fakuümgroeven. Us presyzje-slypmooglikheid berikt in flakheid fan 0,003 mm en in parallelliteit fan 0,002 mm, wêrtroch't in krommingfrije waferfixaasje by it snijden, efterkantslypjen en ynspeksje garandearre wurdt. It materiaal biedt hege bûgingssterkte (361 MPa), hurdens (16 GPa) en termyske stabiliteit oant 800 °C. Beskikber yn rûne formaten oant 600 mm bûtenste diameter (OD) en rjochthoekige foarmen oant 1500 mm lingte. Fakuümgroeven binne op maat ûntworpen (konsintrysk, radiaal of rasterpatroan) om te foldwaan oan spesifike proseseasken. Elke futter wurdt ynspektearre mei in laserinterferometer en levere mei in flakheidsferifikaasjerapport.
Spesifikaasjes (basearre op 99,8% Al₂O₃& St.Cera produksjemooglikheden):
| Besit | Wearde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoar) |
| Dichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Bûgingssterkte | 361 MPa |
| Vickers-hurdens | 16 GPa |
| Bûtenste diameter (maks.) | 600mm |
| Dikte (maks.) | 100mm |
| Lingte (maks.) | 1500mm |
| Platheid | 0.003mm |
| Parallelisme | 0.002mm |
| Oerflakôfwerking | Ra0.1 |
| Maksimale wurktemperatuer | 800°C |
Applikaasjes:
- · Wafersnijden en -skriuwen (200 mm/300 mm en grutter)
- · Efterkant slypjen fan tinne wafers
- · Optyske ynspeksje en sondering
- · Grutte substraatôfhanneling
Produksjepresyzje:
- · Rjochtheid: 0.005mm
- · Perpendikulêrte: 0.005mm
- · Rûnheid: 0.002mm
- · Konsentrisiteit: 0.01mm
