Heech-suvere aluminiumoxide keramyske ein-effektor foar waferbehannelingsrobots
De alumina keramyske ein-effektor fan St.Cera is presyzje-bewurke út 99,8% heechsuvere Al₂O₃ mei help fan avansearre 5-assige CNC-slypapparatuer. Us produksjemooglikheden omfetsje presyzje-slypmasines en CNC-bewurkingssintra, wêrtroch komplekse geometryen mei hege presyzje mooglik binne. De ein-effektor hat in tin profyl (sa tin as 1,5 mm) mei in tapse foarrâne foar glêde waferynfoegjen. It materiaal biedt hege styfheid (Young's modulus 380 GPa), poerbêste slijtvastheid en termyske stabiliteit oant 800 °C. Elke ienheid is presyzje-slypt om in flakheid fan 0,003 mm, in parallellisme fan 0,002 mm en in oerflakfinish fan Ra0.1 te berikken, wêrtroch konsekwint waferkontakt en dieltsjefrije operaasje yn semiconductor FAB-omjouwings wurde garandearre. Beskikber yn lingten fan 150 mm oant 450 mm, mei oanpaste tipgeometriyen (rânegrip, Bernoulli, flak) en montageflanges om te passen by OEM-robots. Opsjes foar oerflakafwerking omfetsje oerlappende, gepolijste of ESD-dissipative coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Spesifikaasjes (basearre op 99,8% Al₂O₃& St.Cera produksjemooglikheden):
| Besit | Wearde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoar) |
| Dichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Bûgingssterkte | 361 MPa |
| Vickers-hurdens | 16 GPa |
| Young's Modulus | 380 GPa |
| Platheid | 0.003mm |
| Parallelisme | 0.002mm |
| Oerflakôfwerking | Ra0.1 (oerlappe/gepoleerd) |
| Maksimale wurktemperatuer | 800°C |
| Lingteberik | 150–450 mm |
Applikaasjes:
- · Waferoerdracht yn fakuüm- en atmosfearyske robots
- · FAB-automatisearrings-eineffektoren foar 200mm/300mm wafers
- · Tinne waferbehanneling (mei ESD-opsje)
Produksjemooglikheden:
Us presyzje-slypmasines en CNC-ferwurkingssintra meitsje de produksje fan komplekse keramyske ûnderdielen mooglik mei:
- · Maksimale bewurkingslingte: 1500 mm
- · Maksimale bûtenste diameter: 600 mm
- · Minimale binnendiameter: 0.2mm
- · Maksimale dikte: 100 mm
Kwaliteitskontrôle:
Rjochtheid 0.005 mm, perpendikulariteit 0.005 mm, rûnheid 0.002 mm, parallelliteit 0.002 mm, konsentrisiteit 0.01 mm ferifiearre troch CMM. Elke ienheid wurdt ultrasonysk skjinmakke en ferpakt yn in skjinne keamer fan klasse 100.
