Keramyske stipepin foar healgeleiderprosesfixtures
De keramyske stipepinnen fan St.Cera (ek wol bekend as liftpinnen of stipepinnen) wurde brûkt yn healgeleiderproseskeamers om wafers of substraten op te heffen by it behanneljen, ferwaarmjen of koeljen. Dizze pinnen binne makke fan 99,8% aluminiumoxide of silisiumnitride en biede hege druksterkte, termyske stabiliteit en gemyske wjerstân. It healrûne of platte tipûntwerp foarkomt krassen op wafers.
Spesifikaasjes(Alumina 99.8%):
| Besit | Wearde |
| Materiaal | 99,8% Al₂O₃ of Si₃N₄ |
| Lingte | 10 – 100 mm |
| Diameter | 1 – 10 mm |
| Tipfoarm | Plat, healrûn, puntich |
| Druksterkte (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimale wurktemperatuer (Al₂O₃) | 1600°C |
| Oerflakôfwerking | Oerlappend (Ra ≤0.4 μm) |
| Tolerânsje op diameter | ±0,01 mm |
Applikaasjes:
Liftpinnen yn CVD/PVD-keamers
Stipepinnen foar bakken op in waarme plaat
Stipestrukturen foar sondekaarten
Boat stipet kwartsoven
Produksje:
Presyzje sintrumleas slypjen fan OD → diamantslypjen fan tipprofyl → ultrasone reiniging → 100% dimensjonele ynspeksje.
Kwaliteitskontrôle:
CMM foar lingte/diameter, optyske fergeliking foar tipradius, ladingstest om druksterkte te ferifiearjen (willekeurige stekproef per lot). Gjin ferromagnetyske fersmoarging (ferifiearre mei magneet).
Foardielen boppe metalen of kwartspins:
5 kear langere libbensdoer as roestfrij stiel
Gjin metaalfersmoarging yn proseskeamer
Hegere temperatuerkapasiteit as kwarts (1600 °C vs 1100 °C)
Non-stick oerflak (fermindere dieltsjeadhesie)
Oanpassing:
Meardere tipprofilen, skroefdraadbasis, of tapse skacht.
Wy leverje ek SiC-pinnen foar ekstreme plasma-omjouwings.
