Aluminiumoxide gasferdielingsplaat foar CVD/PVD dûskop
De gasferdielingsplaat (dûskop) fan St.Cera is presyzje-bewurke út 99,8% aluminiumoxidekeramyk mei in hege suverens. It hat in rige mikrogatten (diameters 0,3–1,5 mm) dy't soargje foar in unifoarme gasstream oer it waferoerflak tidens CVD-, PVD- of ALD-prosessen. De hege diëlektryske sterkte fan 'e plaat (>15 × 10⁶ V/m) en plasmaresistinsje meitsje it essensjeel foar tinne-filmôfsetting fan healgeleiders.
Spesifikaasjes:
| Besit | Wearde |
| Materiaal | 99,8% Al₂O₃ of SiC |
| Diameter | 100 – 1500mm (rûn) of rjochthoekich |
| Dikte | 5 – 20 mm |
| Gatdiameter | 0,3 – 1,5 mm |
| Gatpatroan | Oanpast (trijehoekich, fjouwerkant, radiaal) |
| Platheid | ≤10 μm oer it folsleine gebiet |
| Oerflakrûchheid | Ra ≤0.6 μm (gaskant) |
| Iepen Gebietsferhâlding | 5–15% |
Applikaasjes:
PECVD dûskopplaten
ALD-gasinjektors
Gasferdielingsplaten foar etskeamer
MOCVD-reaktorkomponinten
Produksje:
Aluminiumoxide-substraat flak oerlappe → CNC-boarjen mei diamantcoated ark (gatposysjetolerânsje ±0,02 mm) → ûntbramen → ultrasone reiniging → Klasse 100 ferpakking.
Kwaliteitskontrôle:
Elke plaat wurdt 100% ynspektearre op gatgrutte (fisysysteem), flakheid (laserinterferometer) en gasstreamuniformiteit (drukmapping). Gjin mikro-barsten ûnder in 20x mikroskoop.
Foardielen boppe metalen platen:
Gjin metallyske fersmoarging yn tinne films
Legere dieltsjegeneraasje (gjin korrosjeflakken)
Bestindich tsjin agressive reinigingsplasma's (CF₄, NF₃)
Oanpaste funksjes:
Gaskanalen oan 'e efterkant, tsjinboarrede gatten, rânedichtingen en ferskate materiaalkwaliteiten (SiC foar hegere termyske geleidingsfermogen, Y₂O₃-coating foar plasmaresistinsje).
Wy leverje CAD-ferifikaasje en streamsimulaasje foarôfgeand oan produksje.
