Poreuze keramyske fakuümchuck foar ferfoarme waferôfhanneling
De poreuze keramyske chuck fan St.Cera is makke fan heechsuvere aluminiumoxide mei in unifoarme iepen porositeit fan 30-45% en poarjegrutte fariearjend fan 10 oant 100 μm. Oars as konvinsjonele groeven chucks, soarget it poreuze oerflak foar ferspraat fakuüm oer de hiele efterkant fan 'e wafer, wêrtroch kromme, tinne of singulearre wafers effektyf fêsthâlde sûnder rânelifting of brekken. It sêfte fakuüm (ferstelber fia in restrictor) foarkomt ek markearring oan 'e efterkant.
Spesifikaasjes(basearre op 99,6% Al₂O₃):
| Besit | Wearde |
| Porositeit | 30–45% |
| Gemiddelde poargrutte | 10–100 μm (selektearber) |
| Bûgingssterkte | ≥250 MPa |
| Flakheid (mear as 300 mm) | ≤5 μm |
| Oerflakôfwerking | Oerlappend (Ra 0.8 μm) |
| Maks. fakuümnivo | -80 kPa |
| Bedriuwstemperatuer | 400 °C (loft), 600 °C (inert) |
| Materiaal | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂, of SiC |
Applikaasjes:
Tinne wafer (≤50 μm) efterkant slypjen
Ferfoarme wafermontage foar it snijden fan blokjes
Singulearre die-opname fan tape
Behanneling fan glêzen panielen
Produksje en kwaliteit:
Keramysk poeier mingd mei organyske poarfoarmers → parse → sintere → oerlappe oant definitive dikte. Elke klauwplaat wurdt streamtest op fakuümunifoarmiteit (≤5% ôfwiking) en ynspektearre op poargrutteferdieling (SEM). Flakheid metten mei laserinterferometer.
Foardielen boppe groeven chucks:
Gjin waferrânemarkearring of die-ferskowing
Hâldt kromme wafers (oant 500 μm bôge)
Eliminearret ferstopping fan fakuümgatten
Selsnivellerende stipe foar tinne substraten
Oanpassing:
Rûne of rjochthoekige foarmen, grutte oant 600 mm. Wy kinne rânedichtingsringen of sônefakuümskiedings tapasse. Ferzjes mei metalen eftergrûn binne beskikber foar easken foar hege rigiditeit.
Freegje in stekproef oan foar jo wafergrutte en krommingstest.
