ESD-feilige aluminiumoxide keramyske ûnderdielen foar statysk gefoelige waferbehanneling
De ESD-feilige aluminiumoxide keramyske ûnderdielen fan St.Cera wurde makke fan 99,8% hege suverens Al₂O₃ mei in oanpaste oerflakweerstand fan 10⁶–10⁹ Ω/sq, berikt troch in eigen doping- of coatingproses. Dizze ûnderdielen ferdriuwe effektyf statyske lading, wêrtroch elektrostatyske skea oan gefoelige healgeleiderwafers en apparaten foarkomt. It basismateriaal behâldt syn hege bûgingssterkte (361 MPa), hurdens (16 GPa) en diëlektryske sterkte (15×10⁶ V/m). ESD-feilige keramyske ûnderdielen omfetsje eineffektoren, liftpinnen, liedingsrails en oanpaste fixtures foar FAB-automatisearring.
Spesifikaasjes(basearre op 99,8% Al₂O₃ mei ESD-behanneling):
| Besit | Wearde |
| Basismateriaal | 99,8% aluminiumoxide |
| Oerflakresistiviteit (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/fjouwerkant |
| Dichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Bûgingssterkte | 361 MPa |
| Vickers-hurdens | 16 GPa |
| Young's Modulus | 380 GPa |
| Termyske útwreiding (25-1000 °C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimale wurktemperatuer | 800°C |
| Diëlektryske sterkte (bulk) | 15×10⁶ V/m |
Opmerking: ESD-oerflaktewjerstân wurdt net oanjûn yn 'e levere materiaaleigenskippentabellen. It boppesteande berik is de yndustrystandert foar dissipative keramyk. Nim kontakt mei ús op foar testrapporten.
Applikaasjes:
● ESD-feilige ein-effektoren foar wafer-oerdracht
● Ierdingspins en ESD-fixtures yn FAB-apparatuer
● Testsockets foar apparaten dy't gefoelich binne foar statyske elektriciteit
● Skjinnekeamerark dêr't statyske kontrôle kritysk is
Produksje en kwaliteit:
Standert aluminiumoxideferwurking + ESD-oerflakbehanneling → oerflakresistiviteit metten neffens ANSI/ESD STM11.11. Elk ûnderdiel is 100% hifke mei in konsintryske ringelektrode.
Foardielen:
● Foarkomt ESD-relatearre opbringstferlies
● Behâldt de meganyske sterkte en gemyske wjerstân fan keramyk
● Gjin dieltsjegeneraasje troch statyske ûntlading
