Alumina Keramyske Eineffektor mei Yntegreare Fakuümkanalen
De alumina fakuüm-eindeffektor fan St.Cera yntegreart presyzje-bewurke fakuümkanalen en sûchgatten direkt yn 'e 99,8% hege suverens aluminiumoxide-lichem. Dit ûntwerp elimineert eksterne fakuümpads, wêrtroch direkte waferopname mei unifoarme hâldkrêft mooglik is. De hege bûgingssterkte (361 MPa) en hurdens (16 GPa) fan it materiaal soargje foar lange-termyn dimensjonele stabiliteit ûnder werhelle fakuümsyklusen. De flakheid oer it padgebiet wurdt binnen 10 μm hâlden, wêrtroch waferstress en brekken foarkomme. Fakuümpoarten binne oan 'e efterste montageflens pleatst foar maklike yntegraasje mei OEM-robotarmen.
Spesifikaasjes(basearre op 99,8% Al₂O₃):
| Besit | Wearde |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoar) |
| Dichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Bûgingssterkte | 361 MPa |
| Vickers-hurdens | 16 GPa |
| Young's Modulus | 380 GPa |
| Termyske útwreiding | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Padflakheid | ≤10 μm |
| Breedte fan fakuümkanaal | 0,5–2,0 mm |
| Maksimale wurktemperatuer | 800°C |
Applikaasjes:
● Fakuümopname fan tinne of kromme wafers
● Direkte waferbehanneling sûnder rânegrip
● Oerdracht fan sinnesel en LED-substraat
Produksje:
Sinterde aluminiumoxide blank → 5-assige CNC-boarring fan fakuümkanalen en gatten → oerflaklapping → ultrasone reiniging → heliumlektest. Elke effektor is 100% streamtest op fakuümunifoarmiteit.
Foardielen:
● Gjin eksterne fakuümpads (ferminderet dieltsjeboarnen)
● Uniforme hâlddruk foarkomt wafermarkearring
● Gemysk ynert en kompatibel mei skjinne keamers
