Heech-suvere aluminiumoxide keramyske robotarm foar waferbehanneling
De aluminiumoxide keramyske robotarm fan St.Cera is presyzje-ûntwurpen út 99,8% heechsuvere Al₂O₃ (alumina). It kombinearret útsûnderlike bûgingssterkte (361 MPa), hege hurdens (16 GPa) en lege tichtheid (3,93 g/cm³), wat resulteart yn in lichtgewicht, mar dochs stive earm foar oerdracht fan healgeleiderwafers. De termyske útwreidingskoëffisjint fan it materiaal (7,2 × 10⁻⁶/°C) komt nau oerien mei silisium, wêrtroch termyske mismatch tidens de ferwurking minimalisearre wurdt.
Spesifikaasjes (basearre op 99,8% Al₂O₃):
| Besit | Wearde |
| Kleur | Ivoar |
| Dichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Bûgingssterkte | 361 MPa |
| Vickers-hurdens | 16 GPa |
| Young's Modulus | 380 GPa |
| Termyske geliedingsfermogen | 32 W/m·k |
| Termyske útwreiding | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Diëlektryske sterkte | 15×10⁶ V/m |
Applikaasjes:
- Vakuümwafer-oerdrachtrobots (200mm/300mm)
- Atmosfearyske ôfhannelingssystemen
- Ein-effektorarmen foar FAB-automatisearring
Produksjeproses:
Isostatysk parsen → griene ferwurking → sinterjen by 1600 °C → CNC-presyzjeslypjen → ultrasone reiniging → Klasse 100 skjinkeamerferpakking. Elke earm wurdt 100% ynspektearre troch CMM op flakheid (± 0,01 mm) en oerflakteruwheid (Ra ≤ 0,4 μm).
Kwaliteitskontrôle:
St.Cera is ISO 9001:2015-sertifisearre. Wy fiere kleurstofpenetranttests út foar mikroskeuren, trijepuntsbûging foar bûgsterkte, en diëlektryske sterktetests neffens ASTM D149.
Foardielen boppe metalen earms:
- 50% lichter as roestfrij stiel
- Gjin galvanyske korrosje
- Legere dieltsjegeneraasje (≤0,05 dieltsjes/cm²)
- ESD-feilige coating beskikber (10⁶–10⁹ Ω/fjouwerkante meter)
Oanpassing:
Lingtes fan 150 mm oant 450 mm, tipfoarmen (rânegreep, Bernoulli, fakuüm), en montageflenspatroanen neffens OEM-tekeningen. Prototypes yn 2 wiken.
Foar bulkbestellingen, freegje asjebleaft in offerte oan.
