12-inch aluminiumoxide fakuümchuck foar 300mm waferferwurking
De 12-inch fakuümklauw fan St.Cera is presyzje makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃) foar it behanneljen fan wafers fan 300 mm. De klauw hat in fyn groefd oerflak (groefbreedte 0,5–1,0 mm, steek 2–3 mm) om in unifoarme fakuümferdieling oer de hiele diameter fan 300 mm te garandearjen. De flakheid wurdt binnen 5 μm bewarre, wêrtroch't de wafers kromfrij fêstmakke wurde kinne by it snijden, slypjen oan 'e efterkant en ynspeksje. De hege bûgingssterkte (361 MPa) en hurdens (16 GPa) fan it materiaal garandearje lange-termyn dimensjonele stabiliteit, sels ûnder werhelle fakuümsyklusen.
Spesifikaasjes (basearre op 99,8% Al₂O₃):
| Besit | Wearde |
| Diameter | 300 mm (12 inch) |
| Materiaal | 99,8% aluminiumoxide (ivoar) |
| Dichtheid | 3,93 g/cm³ |
| Bûgingssterkte | 361 MPa |
| Vickers-hurdens | 16 GPa |
| Flakheid (mear as 300 mm) | ≤5 μm |
| Groefbreedte | 0,5–1,0 mm |
| Maksimale wurktemperatuer | 800°C |
| Diëlektryske sterkte | 15×10⁶ V/m |
Applikaasjes:
300mm wafer snijden en skriuwe
Wafer-efterkant slypjen (tinne waferstipe)
Optyske ynspeksje en sondering
Tydlike ferbinings-/ûntbindingsklemmen
Produksje:
CNC-slypt en lappend oant definitive flakheid, groeven mei diamantskiven, ultrasonysk skjinmakke en ynpakt yn in skjinne keamer fan klasse 100. Elke klauwplaat wurdt 100% ynspektearre op flakheid (laserinterferometer) en groefdjipte (profilometer).
Foardielen:
Lege dieltsjegeneraasje (≤0,05 dieltsjes/cm²)
Chemysk ynert foar oplosmiddels en soeren
ESD-feilich oerflak (wjerstân >10¹³ Ω·cm)
Oanpaste fakuümgatpatroanen en efterkantpoarten beskikber.
