Aluminium-basearre poreuze keramyske fakuümchuck foar tinne waferbehanneling
De poreuze chuck fan St.Cera op basis fan aluminiumoxide is makke fan 99,6% heechsuvere Al₂O₃ mei in kontroleare iepen porositeit fan 30–45% en in unifoarme poargrutte fan 10 oant 50 μm. Oars as groefde chucks soarget it poreuze oerflak foar in ferspraat fakuüm oer de hiele efterkant fan 'e wafer, wêrtroch rânemarkeringen eliminearre wurde en ultratinne (≤100 μm) of kromme wafers sêft fêsthâlde kinne. It materiaal biedt in bûgingssterkte fan ≥250 MPa en in termyske stabiliteit oant 400 °C yn loft.
Spesifikaasjes(basearre op 99,6% Al₂O₃):
| Besit | Wearde |
| Materiaal | 99,6% aluminiumoxide (wyt) |
| Porositeit | 30–45% (oanpasber) |
| Gemiddelde poargrutte | 10–50 μm |
| Bûgingssterkte | ≥250 MPa |
| Dichtheid | 3,88 g/cm³ |
| Flakheid (mear as 200 mm) | ≤5 μm |
| Maksimale wurktemperatuer | 400 °C (loft) |
| Oerflakôfwerking | Oerlappend (Ra ≤0.8 μm) |
Applikaasjes:
- · Tinne wafer (≤50 μm) efterkant slypjen
- · Ferfoarme wafermontage foar it snijden fan blokjes
- · Iensidige matrijs oppakke
- · Behanneling fan glêssubstraat
Produksje:
Poeder mingd mei poarfoarmers → isostatysk persen → sinterjen by 1600 °C → oerlappen oant definitive dikte. Elke klauwplaat wurdt streamtest op fakuümunigens (drukôfwiking <5%) en ynspektearre op poargrutteferdieling (SEM).
Foardielen boppe konvinsjonele chucks:
- · Gjin markearring op 'e efterkant fan 'e wafer of ferskowing fan 'e die
- · Hâldt wafers mei in bôge oant 500 μm
- · Selsreinigjend oerflak (poaren binne net ferstoppe)
- · Uniforme stipe elimineert lokale stress
Coanpassing:
Rûne of fjouwerkante foarmen, diameter 100–450 mm. Râne-ôfslutingsring beskikber foar sône-fakuümkontrôle.
Freegje in stekproef oan foar jo spesifike wafergrutte.
