Op silisiumkarbid (SiC) basearre fakuümklauw foar hege temperatuer- en plasma-omjouwings
De SiC-basearre keramyske chuck fan St.Cera is makke fan heechsuvere silisiumkarbid (batch S1111, SiC 99,72%, frij Si 0,05%). It leveret in mjitten bûgingssterkte fan 449 MPa, in brektaaiheid fan 3,12 MPa·m¹/², en in elastyske modulus fan 457 GPa. De typyske termyske geleidingsfermogen fan it materiaal (120–150 W/m·K) en lege termyske útwreiding (4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃) meitsje rappe temperatuerferoaring en minimale waferferfoarming mooglik tidens termyske syklussen. De chuck kin konfigurearre wurde as in poreuze fakuümchuck (uniforme gasstream) of in groefde standert chuck. Mei in maksimale gebrûkstemperatuer fan 1600–1700 °C (gjin lading) en útsûnderlike plasma-eroazjebestriding, is dizze chuck ideaal foar hege-temperatuer waferferwurking (gloeien, RTP) en agressive etskeamers wêr't aluminiumoxide-chucks degradearje.
Spesifikaasjes(basearre op levere SiC S1111 testrapport & typyske wearden):
| Besit | Wearde |
| Materiaal | SiC (99,72% SiC, 0,05% frij Si) |
| Dichtheid | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Wetteropname | 0% |
| Bûgingssterkte | 449 MPa |
| Breuktaaiheid | 3,12 MPa·m¹/² |
| Elastyske modulus | 457 GPa |
| Vickers-hurdens | 25–28 GPa |
| Termyske geliedingsfermogen | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maks. gebrûkstemperatuer (gjin lading) | 1600–1700 °C |
| Flakheid (mear as 300 mm) | ≤5 μm |
| Oerflakôfwerking | Ra ≤0.4 μm (oerlappe) |
Applikaasjes:
● Hege-temperatuer-spinnen (gloeien, RTP, epitaksiale groei)
● Plasma-etsfitting mei hege fluorresistinsje
● Tinne waferbehanneling mei unifoarme ferwaarming/koeling
● Poreuze chuck foar kontaktleaze waferstipe
Produksje:
SiC-sinterjen → presys slypjen fan flakheid en oerflakprofyl → opsjonele poreuze struktuerfoarming (foar fakuümklauw) → oerlappen → ultrasone skjinmeitsjen. Elke klauw wurdt 100% ynspektearre op flakheid (laserinterferometer) en fakuümunifoarmiteit (streamtest).
Kwaliteitskontrôle:
● CMM dimensjonele kontrôle (diameter, dikte, gatposysjes)
● Mjitting fan flakheid neffens ASTM
● Heliumlektest (foar fakuümklemmen)
● Ferifikaasje fan bûgingssterkte per batch (ref. testrapport)
Foardielen boppe aluminiumoxide chucks:
● Hegere termyske geliedingsfermogen (120–150 vs 32 W/m·K foar aluminiumoxide) – 4 kear rapper waarmteoerdracht
● Legere CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – ferminderet termyske stress fan wafers
● Superieure plasmaresistinsje – 10 kear langere libbensdoer yn fluor-etsing
● Hegere maksimale gebrûkstemperatuer (1600 °C tsjin 800 °C foar aluminiumoxide)
Oanpassing:
● Poreuze of groeven oerflak
● Diameter 100–450 mm, rûn of fjouwerkant
● Râne-ôfslutingsring of sône-fakuümskiedings
● Metalen efterkant opsje foar hege-styfheid montage
Alle meganyske gegevens hjirboppe komme út it levere testrapport (batch S1111). Termyske en hurdheidswearden binne typysk foar dizze SiC-klasse. Poreuze SiC-klauwen fereaskje ekstra ferwurking; freegje asjebleaft nei spesifike beskikberens fan porositeit en poargrutte.
