Silisiumkarbide (SiC) keramyske eineffektor - Hege styfheid foar hege-temperatuer waferbehanneling
De SiC keramyske ein-effektor fan St.Cera is makke fan heechsuvere silisiumkarbid (SiC-ynhâld 99,72%, frij Si 0,05%) mei it S1111 batchmateriaal. It biedt útsûnderlike meganyske eigenskippen: bûgingssterkte 449 MPa (metten), elastyske modulus 457 GPa (metten), en Vickers-hurdens 25–28 GPa (typysk). De lege tichtheid (3,10–3,15 g/cm³, typysk) soarget foar in hege spesifike styfheid, ideaal foar hege-snelheid wafer-oerdrachtrobots. Mei in termyske geliedingsfermogen fan 120–150 W/m·K (typysk) en in termyske útwreidingskoëffisjint fan 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typysk), ferspriedt dizze ein-effektor waarmte effektyf en behâldt dimensjonele stabiliteit by hege temperatuerôfhanneling (oant 1600–1700 °C, gjin lading). De swart/grize kleur en nul wetterabsorpsje soargje foar kompatibiliteit mei skjinne keamers.
Spesifikaasjes(basearre op levere SiC S1111 testrapport & typyske wearden):
| Besit | Wearde |
| Materiaal | SiC (99,72% SiC, 0,05% frij Si) |
| Kleur | Swart/Griis |
| Dichtheid | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Wetteropname | 0% |
| Bûgingssterkte | 449 MPa (gemiddeld) |
| Breuktaaiheid | 3,12 MPa·m¹/² (gemiddeld) |
| Elastyske modulus | 457 GPa |
| Vickers-hurdens | 25–28 GPa |
| Termyske geliedingsfermogen (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maks. gebrûkstemperatuer (gjin lading) | 1600–1700 °C |
Applikaasjes:
● Hege-temperatuer waferbehanneling (post-anneal, RTP, epitaksy)
● Plasma-etskeamers dy't hege eroazjebestriding fereaskje
● Hege-snelheid oerdrachtrobots (lichtgewicht, hege stivens)
Produksje:
SiC-poeier sinterjen → presyzje CNC-slypjen fan earmprofyl en montagefunksjes → oerflaklapping → ultrasone reiniging. 100% dimensjonele ynspeksje en heliumlektest foar fakuümtapassingen.
Kwaliteitskontrôle:
● CMM-ynspeksje fan lingte, breedte en flakheid
● Bûgingssterktetest per batch (per testrapportstandert)
● Fisuele ynspeksje ûnder in mikroskoop op oerflakdefekten
Foardielen boppe aluminiumoxide of metaal:
● 2× hegere elastyske modulus (457 vs ~380 GPa foar aluminiumoxide) – minder ôfbûging
● 3x hegere termyske geliedingsfermogen - fluggere waarmteôffier
● Bestindich tsjin >1600°C tsjin 800°C fan aluminiumoxide yn loft
● Legere tichtheid as stiel – 40% gewichtsreduksje
Oanpassing:
Lingtes 150–450 mm, tipfoarmen (rânegrip, Bernoulli, flak), montageflenspatroanen neffens OEM-tekening.
*Alle meganyske gegevens hjirboppe komme út it levere testrapport (batch S1111). Termyske en hurdheidswearden binne typysk foar dizze SiC-klasse; nim dan kontakt mei ús op foar batchspesifike sertifikaasje.*
