-
Oanpaste ferwurking fan Al2O3 keramyske waferchuck
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
ST.CERA oanpaste healgeleiderapparatuer keramyske plaat
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
12-inch aluminiumoxide fakuümchuck foar 300mm waferferwurking
De 12-inch fakuümklauw fan St.Cera is presyzje makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃) foar it behanneljen fan wafers fan 300 mm. De klauw hat in fyn groefd oerflak (groefbreedte 0,5–1,0 mm, steek 2–3 mm) om in unifoarme fakuümferdieling oer de hiele diameter fan 300 mm te garandearjen. De flakheid wurdt binnen 5 μm bewarre, wêrtroch't de wafers kromfrij fêstmakke wurde kinne by it snijden, slypjen oan 'e efterkant en ynspeksje. De hege bûgingssterkte (361 MPa) en hurdens (16 GPa) fan it materiaal garandearje lange-termyn dimensjonele stabiliteit, sels ûnder werhelle fakuümsyklusen.
-
Keramyske reserveûnderdielen foar healgeleidersonde-apparatuer
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Keramyske plaat healgeleider apparatuerdrager
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Keramyske reserveûnderdielen foar healgeleiderapparatuer
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Hege-suverens aluminiumoxide keramyske sealring foar hege-temperatuer keamerfersegeling
De keramyske sealingring fan St.Cera is ûntworpen as in alternatyf foar polymear O-ringen yn ekstreme omjouwings dêr't elastomeren ôfbrekke. Dizze stive sealingring, makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), wurdt brûkt yn statyske sealingtapassingen - typysk kombinearre mei in sêfte metalen of grafytpakking - om betroubere fakuüm- of gasynhâld te leverjen by temperatueren oant 800 °C en yn agressive plasma- of gemyske omjouwings. It materiaal biedt nul útgassing, hege druksterkte (ûnderlizzende bûgingssterkte 361 MPa), en gemyske inertheid (bestindich tsjin halogenen, soeren en alkaliën útsein HF). Presyzje-oerlappende sealingoerflakken (flakheid ≤5 μm, oerflakteruwheid Ra ≤0,2 μm) soargje foar lekdicht kontakt mei passende metalen of keramyske komponinten.
-
Fokusring foar keamer mei hege suverens fan aluminiumoxide foar plasma-ets- en CVD-systemen
De keamerfokusring fan St.Cera is in kritysk ûnderdiel fan 'e proseskit dat brûkt wurdt yn plasma-ets-, CVD- en PVD-healgeliederapparatuer. De ring, dy't makke is fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), omfiemet de waferrâne om it plasma te beheinen en de hoekferdieling fan 'e ionen te optimalisearjen, wêrtroch't de etsuniformiteit oer it waferoerflak ferbettere wurdt. It materiaal biedt útsûnderlike plasmaresistinsje, hege diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m) en termyske stabiliteit oant 1600 °C, wat soarget foar betrouberens op lange termyn yn agressive plasma-omjouwings op basis fan fluor of chloor. Presyzje-slypte ID/OD en flakheid (≤10 μm) meitsje krekte posysjonearring fan 'e waferrâne mooglik, wêrtroch rânedefekten en dieltsjegeneraasje wurde fermindere.
-
Heech-suvere aluminiumoxide keramyske ring foar CVD / PVD-proseskeamers
De keramyske ring fan St.Cera is spesifyk ûntworpen foar gebrûk yn CVD (Chemical Vapor Deposition) en PVD (Physical Vapor Deposition) proseskeamers. Dizze ring, makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), tsjinnet as in keamerfoering, fokusring of proseskitkomponint om plasma te beheinen en keamerwanden te beskermjen tsjin eroazje. It materiaal biedt poerbêste plasmaresistinsje, hege diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m), en termyske stabiliteit oant 1600 °C, wat soarget foar in lange libbensdoer yn agressive fluor-basearre plasma-omjouwings. Krekte dimensjonele tolerânsjes (± 0,05 mm op ID/OD) en flakheid (≤ 10 μm) meitsje in konsekwinte waferrâneposysje mooglik, wêrtroch't de ôfsettingsuniformiteit ferbettere wurdt en dieltsjegeneraasje fermindere wurdt.
-
Poreuze keramyske fakuümchuck foar ferfoarme waferôfhanneling
De poreuze keramyske chuck fan St.Cera is makke fan heechsuvere aluminiumoxide mei in unifoarme iepen porositeit fan 30-45% en poarjegrutte fariearjend fan 10 oant 100 μm. Oars as konvinsjonele groeven chucks, soarget it poreuze oerflak foar ferspraat fakuüm oer de hiele efterkant fan 'e wafer, wêrtroch kromme, tinne of singulearre wafers effektyf fêsthâlde sûnder rânelifting of brekken. It sêfte fakuüm (ferstelber fia in restrictor) foarkomt ek markearring oan 'e efterkant.
-
Aluminium-basearre poreuze keramyske fakuümchuck foar tinne waferbehanneling
De poreuze chuck fan St.Cera op basis fan aluminiumoxide is makke fan 99,6% heechsuvere Al₂O₃ mei in kontroleare iepen porositeit fan 30–45% en in unifoarme poargrutte fan 10 oant 50 μm. Oars as groefde chucks soarget it poreuze oerflak foar in ferspraat fakuüm oer de hiele efterkant fan 'e wafer, wêrtroch rânemarkeringen eliminearre wurde en ultratinne (≤100 μm) of kromme wafers sêft fêsthâlde kinne. It materiaal biedt in bûgingssterkte fan ≥250 MPa en in termyske stabiliteit oant 400 °C yn loft.
-
Aluminiumoxide gasferdielingsplaat foar CVD/PVD dûskop
De gasferdielingsplaat (dûskop) fan St.Cera is presyzje-bewurke út 99,8% aluminiumoxidekeramyk mei in hege suverens. It hat in rige mikrogatten (diameters 0,3–1,5 mm) dy't soargje foar in unifoarme gasstream oer it waferoerflak tidens CVD-, PVD- of ALD-prosessen. De hege diëlektryske sterkte fan 'e plaat (>15 × 10⁶ V/m) en plasmaresistinsje meitsje it essensjeel foar tinne-filmôfsetting fan healgeleiders.
