-
Alumina hege-presyzje keramyske ring keramyske ûnderdielen
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
ST.CERA oanpaste healgeleiderapparatuer keramyske chucks
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Silisiumkarbide (SiC) keramyske eineffektor - Hege styfheid foar hege-temperatuer waferbehanneling
De SiC keramyske ein-effektor fan St.Cera is makke fan heechsuvere silisiumkarbid (SiC-ynhâld 99,72%, frij Si 0,05%) mei it S1111 batchmateriaal. It biedt útsûnderlike meganyske eigenskippen: bûgingssterkte 449 MPa (metten), elastyske modulus 457 GPa (metten), en Vickers-hurdens 25–28 GPa (typysk). De lege tichtheid (3,10–3,15 g/cm³, typysk) soarget foar in hege spesifike styfheid, ideaal foar hege-snelheid wafer-oerdrachtrobots. Mei in termyske geliedingsfermogen fan 120–150 W/m·K (typysk) en in termyske útwreidingskoëffisjint fan 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typysk), ferspriedt dizze ein-effektor waarmte effektyf en behâldt dimensjonele stabiliteit by hege temperatuerôfhanneling (oant 1600–1700 °C, gjin lading). De swart/grize kleur en nul wetterabsorpsje soargje foar kompatibiliteit mei skjinne keamers.
-
Op silisiumkarbid (SiC) basearre fakuümklauw foar hege temperatuer- en plasma-omjouwings
De SiC-basearre keramyske chuck fan St.Cera is makke fan heechsuvere silisiumkarbid (batch S1111, SiC 99,72%, frij Si 0,05%). It leveret in mjitten bûgingssterkte fan 449 MPa, in brektaaiheid fan 3,12 MPa·m¹/², en in elastyske modulus fan 457 GPa. De typyske termyske geleidingsfermogen fan it materiaal (120–150 W/m·K) en lege termyske útwreiding (4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃) meitsje rappe temperatuerferoaring en minimale waferferfoarming mooglik tidens termyske syklussen. De chuck kin konfigurearre wurde as in poreuze fakuümchuck (uniforme gasstream) of in groefde standert chuck. Mei in maksimale gebrûkstemperatuer fan 1600–1700 °C (gjin lading) en útsûnderlike plasma-eroazjebestriding, is dizze chuck ideaal foar hege-temperatuer waferferwurking (gloeien, RTP) en agressive etskeamers wêr't aluminiumoxide-chucks degradearje.
-
Semiconductor-apparatuer Keramyske reserveûnderdielen Keramyske dragers
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Metaal-backed aluminiumoxide keramyske slypring foar hege-rigiditeit lapping tapassingen
De slypring fan aluminiumoxide op basis fan metaal fan St.Cera kombinearret in keramyske slijtlaach fan hege suverens fan aluminiumoxide (99,8% Al₂O₃) mei in presyzje-bewurke metalen efterkant (meastal aluminium of roestfrij stiel). Dit hybride ûntwerp soarget foar de útsûnderlike slijtvastheid en gemyske traachheid fan keramyk op it slypoerflak, wylst de metalen basis meganyske sterkte, maklike montage en wjerstân tsjin bros brekken tafoeget. De aluminiumoxidelaach biedt in bûgsterkte fan 361 MPa, in Vickers-hurdens fan 16 GPa en termyske stabiliteit oant 800 °C. De metalen basis is oanpast mei montagegatten, lokalisaasjepinnen of magnetyske eigenskippen foar yntegraasje yn lepmasines, planetêre slypmasines en CMP-apparatuer.
-
Keramyske reserveûnderdielen foar apparatuer foar healgeleidersondestasjons
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Oanpaste ferwurking fan Al2O3 keramyske waferchuck
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
ST.CERA oanpaste healgeleiderapparatuer keramyske plaat
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
12-inch aluminiumoxide fakuümchuck foar 300mm waferferwurking
De 12-inch fakuümklauw fan St.Cera is presyzje makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃) foar it behanneljen fan wafers fan 300 mm. De klauw hat in fyn groefd oerflak (groefbreedte 0,5–1,0 mm, steek 2–3 mm) om in unifoarme fakuümferdieling oer de hiele diameter fan 300 mm te garandearjen. De flakheid wurdt binnen 5 μm bewarre, wêrtroch't de wafers kromfrij fêstmakke wurde kinne by it snijden, slypjen oan 'e efterkant en ynspeksje. De hege bûgingssterkte (361 MPa) en hurdens (16 GPa) fan it materiaal garandearje lange-termyn dimensjonele stabiliteit, sels ûnder werhelle fakuümsyklusen.
-
Alumina Keramyske Eineffektor mei Yntegreare Fakuümkanalen
De alumina fakuüm-eindeffektor fan St.Cera yntegreart presyzje-bewurke fakuümkanalen en sûchgatten direkt yn 'e 99,8% hege suverens aluminiumoxide-lichem. Dit ûntwerp elimineert eksterne fakuümpads, wêrtroch direkte waferopname mei unifoarme hâldkrêft mooglik is. De hege bûgingssterkte (361 MPa) en hurdens (16 GPa) fan it materiaal soargje foar lange-termyn dimensjonele stabiliteit ûnder werhelle fakuümsyklusen. De flakheid oer it padgebiet wurdt binnen 10 μm hâlden, wêrtroch waferstress en brekken foarkomme. Fakuümpoarten binne oan 'e efterste montageflens pleatst foar maklike yntegraasje mei OEM-robotarmen.
-
ESD-feilige aluminiumoxide keramyske ûnderdielen foar statysk gefoelige waferbehanneling
De ESD-feilige aluminiumoxide keramyske ûnderdielen fan St.Cera wurde makke fan 99,8% hege suverens Al₂O₃ mei in oanpaste oerflakweerstand fan 10⁶–10⁹ Ω/sq, berikt troch in eigen doping- of coatingproses. Dizze ûnderdielen ferdriuwe effektyf statyske lading, wêrtroch elektrostatyske skea oan gefoelige healgeleiderwafers en apparaten foarkomt. It basismateriaal behâldt syn hege bûgingssterkte (361 MPa), hurdens (16 GPa) en diëlektryske sterkte (15×10⁶ V/m). ESD-feilige keramyske ûnderdielen omfetsje eineffektoren, liftpinnen, liedingsrails en oanpaste fixtures foar FAB-automatisearring.
