-
Keramyske reserveûnderdielen foar healgeleidersonde-apparatuer
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Keramyske plaat healgeleider apparatuerdrager
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Keramyske reserveûnderdielen foar healgeleiderapparatuer
Foarme troch kâld isostatysk persen en sintere ûnder hege temperatuer, dan presyzjebewurke en gepolijst, kinne de keramyske reserveûnderdielen foldwaan oan alle strange easken fan healgeleiderapparatuer mei syn skaaimerken fan wearbestindigens, korrosjebestriding, lege termyske útwreiding en isolaasje. Keramyk kin lange tiid wurkje yn in protte soarten healgeleiderproduksjeapparatuer ûnder betingsten fan hege temperatuer, fakuüm of korrosyf gas.
Makke fan heechsuvere aluminiumoxidepoeier, ferwurke troch kâld isostatysk persen, hege temperatuer sinterjen en presyzje ôfwurking, koe it de diminsjetolerânsje berikke fan ± 0,001 mm, oerflakteôfwerking Ra 0,1, temperatuerresistinsje 1600 ℃.
-
Hege-suverens aluminiumoxide keramyske sealring foar hege-temperatuer keamerfersegeling
De keramyske sealingring fan St.Cera is ûntworpen as in alternatyf foar polymear O-ringen yn ekstreme omjouwings dêr't elastomeren ôfbrekke. Dizze stive sealingring, makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), wurdt brûkt yn statyske sealingtapassingen - typysk kombinearre mei in sêfte metalen of grafytpakking - om betroubere fakuüm- of gasynhâld te leverjen by temperatueren oant 800 °C en yn agressive plasma- of gemyske omjouwings. It materiaal biedt nul útgassing, hege druksterkte (ûnderlizzende bûgingssterkte 361 MPa), en gemyske inertheid (bestindich tsjin halogenen, soeren en alkaliën útsein HF). Presyzje-oerlappende sealingoerflakken (flakheid ≤5 μm, oerflakteruwheid Ra ≤0,2 μm) soargje foar lekdicht kontakt mei passende metalen of keramyske komponinten.
-
Fokusring foar keamer mei hege suverens fan aluminiumoxide foar plasma-ets- en CVD-systemen
De keamerfokusring fan St.Cera is in kritysk ûnderdiel fan 'e proseskit dat brûkt wurdt yn plasma-ets-, CVD- en PVD-healgeliederapparatuer. De ring, dy't makke is fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), omfiemet de waferrâne om it plasma te beheinen en de hoekferdieling fan 'e ionen te optimalisearjen, wêrtroch't de etsuniformiteit oer it waferoerflak ferbettere wurdt. It materiaal biedt útsûnderlike plasmaresistinsje, hege diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m) en termyske stabiliteit oant 1600 °C, wat soarget foar betrouberens op lange termyn yn agressive plasma-omjouwings op basis fan fluor of chloor. Presyzje-slypte ID/OD en flakheid (≤10 μm) meitsje krekte posysjonearring fan 'e waferrâne mooglik, wêrtroch rânedefekten en dieltsjegeneraasje wurde fermindere.
-
Heech-suvere aluminiumoxide keramyske ring foar CVD / PVD-proseskeamers
De keramyske ring fan St.Cera is spesifyk ûntworpen foar gebrûk yn CVD (Chemical Vapor Deposition) en PVD (Physical Vapor Deposition) proseskeamers. Dizze ring, makke fan 99,8% heechsuvere aluminiumoxide (Al₂O₃), tsjinnet as in keamerfoering, fokusring of proseskitkomponint om plasma te beheinen en keamerwanden te beskermjen tsjin eroazje. It materiaal biedt poerbêste plasmaresistinsje, hege diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m), en termyske stabiliteit oant 1600 °C, wat soarget foar in lange libbensdoer yn agressive fluor-basearre plasma-omjouwings. Krekte dimensjonele tolerânsjes (± 0,05 mm op ID/OD) en flakheid (≤ 10 μm) meitsje in konsekwinte waferrâneposysje mooglik, wêrtroch't de ôfsettingsuniformiteit ferbettere wurdt en dieltsjegeneraasje fermindere wurdt.
-
Bernoulli Keramyske Eineffektor - Kontaktleaze waferbehanneling foar tinne en fragile wafers
De Bernoulli keramyske ein-effektor fan St.Cera brûkt aerodynamyske lift om wafers sûnder fysyk kontakt te behanneljen. Makke fan hege suverens 99,8% aluminiumoxide (Al₂O₃) of silisiumkarbid (SiC), hat it presyzje-bewurke nozzles dy't gas ûnder druk útstjitte om in tinne loftfilm te meitsjen tusken de ein-effektor en de wafer. Dit kontaktleaze prinsipe elimineert fersmoarging oan 'e efterkant, it ôfbrokkeljen fan rânen en oerflakskea, wêrtroch it ideaal is foar tinne (≤100 μm), kwetsbere of kromme wafers. It keramyske substraat biedt hege bûgingssterkte (361 MPa foar Al₂O₃; oant 550–600 MPa foar SiC), lege massa en poerbêste dimensjonele stabiliteit, wêrtroch werhelle posysjonearring yn hege-snelheid wafer-oerdrachtrobots mooglik is.
-
Heech-suvere aluminiumoxide keramyske ûnderdielen foar healgeleider- en yndustriële tapassingen
St.Cera produseart presyzje-bewurke alumina (Al₂O₃) keramyske ûnderdielen neffens klantspesifikaasjes. Mei 99,8% hege suverens alumina leverje dizze ûnderdielen poerbêste bûgingssterkte (361 MPa), hege hurdens (16 GPa) en treflike diëlektryske sterkte (15 × 10⁶ V/m). Untworpen foar healgeleiderapparatuer, slijtvaste gearstallingen, elektryske isolatoaren en hege-temperatuer-armaturen, biedt it materiaal hast nul wetterabsorpsje (0%) en in termyske útwreidingskoëffisjint fan 7,2 × 10⁻⁶/℃, wêrtroch dimensjonele stabiliteit ûnder ekstreme omstannichheden wurdt garandearre.
-
Poreuze keramyske fakuümchuck foar ferfoarme waferôfhanneling
De poreuze keramyske chuck fan St.Cera is makke fan heechsuvere aluminiumoxide mei in unifoarme iepen porositeit fan 30-45% en poarjegrutte fariearjend fan 10 oant 100 μm. Oars as konvinsjonele groeven chucks, soarget it poreuze oerflak foar ferspraat fakuüm oer de hiele efterkant fan 'e wafer, wêrtroch kromme, tinne of singulearre wafers effektyf fêsthâlde sûnder rânelifting of brekken. It sêfte fakuüm (ferstelber fia in restrictor) foarkomt ek markearring oan 'e efterkant.
-
Aluminium-basearre poreuze keramyske fakuümchuck foar tinne waferbehanneling
De poreuze chuck fan St.Cera op basis fan aluminiumoxide is makke fan 99,6% heechsuvere Al₂O₃ mei in kontroleare iepen porositeit fan 30–45% en in unifoarme poargrutte fan 10 oant 50 μm. Oars as groefde chucks soarget it poreuze oerflak foar in ferspraat fakuüm oer de hiele efterkant fan 'e wafer, wêrtroch rânemarkeringen eliminearre wurde en ultratinne (≤100 μm) of kromme wafers sêft fêsthâlde kinne. It materiaal biedt in bûgingssterkte fan ≥250 MPa en in termyske stabiliteit oant 400 °C yn loft.
-
Aluminiumoxide gasferdielingsplaat foar CVD/PVD dûskop
De gasferdielingsplaat (dûskop) fan St.Cera is presyzje-bewurke út 99,8% aluminiumoxidekeramyk mei in hege suverens. It hat in rige mikrogatten (diameters 0,3–1,5 mm) dy't soargje foar in unifoarme gasstream oer it waferoerflak tidens CVD-, PVD- of ALD-prosessen. De hege diëlektryske sterkte fan 'e plaat (>15 × 10⁶ V/m) en plasmaresistinsje meitsje it essensjeel foar tinne-filmôfsetting fan healgeleiders.
-
Keramyske stipepin foar healgeleiderprosesfixtures
De keramyske stipepinnen fan St.Cera (ek wol bekend as liftpinnen of stipepinnen) wurde brûkt yn healgeleiderproseskeamers om wafers of substraten op te heffen by it behanneljen, ferwaarmjen of koeljen. Dizze pinnen binne makke fan 99,8% aluminiumoxide of silisiumnitride en biede hege druksterkte, termyske stabiliteit en gemyske wjerstân. It healrûne of platte tipûntwerp foarkomt krassen op wafers.
